▲成大智慧製造研究中心技術團隊。（圖/成功大學提供）

　
【亞太新聞網/記者鄭順彬/臺南報導】

在歐洲看見台灣、2019德國漢諾威工業展。成大智慧製造研究中心主任鄭芳田教授、機械系李永春教授技術團隊，展出智慧製造雲端服務系統「工業4.1」方案，能做到產品接近零缺陷境界，以及可應用於半導體積體電路、IC封裝等的「高精度無光罩式UV曝光機」，展現成大學術與產業結合的能量與實力 。


▲李永春教授在展覽中，展示無光罩式UV曝光機應用於滾筒模仁製程技術與奈米壓印微影技術。（圖/成功大學提供）

「工業4.1」方案，由鄭芳田教授提出。將工業4.0系統平台，結合全自動虛擬量測技術、智慧型預測保養、智慧型良率管理以及先進製造物聯雲等技術。自動虛擬量測技術可以即時提供所有產品檢測資訊，發現缺陷即可剔除不交貨，所有交貨產品零缺陷。被剔除的瑕疵品，亦可應用關鍵參數搜尋演算法來找出產生缺陷的主要原因，根本解決，並持續改善，如此就可使所有生產產品接近零缺陷的境界。「工業4.1」方案，已運用於多家半導體、面板和太陽能等高科技產業的廠商，也推廣到汽車輪圈、航太、吹瓶機、電動黃油槍及碳纖等相關之傳統機械產業廠商。

李永春教授發展的「高精度無光罩式UV曝光機」可應用於半導體積體電路、IC封裝、印刷電路板等。還可延伸到平面顯示器、發光二極體、光通訊、光電元件等相關產業。IC載板、先進封裝產業，其無光罩式微影製程技術受到大廠壟斷，「高精度無光罩式UV曝光機」提供業者新選擇。李永春教授也將此技術衍生新創公司，成為台灣第一家可以技術自主與自有品牌的無光罩曝光機生產製造廠商。

李永春教授在展覽中，展示無光罩式UV曝光機應用於滾筒模仁製程技術與奈米壓印微影技術，以自行建置的準分子雷射微加工機台，製造關鍵零組件，通過精確的機械對位和精準控制滾筒的旋轉和平台的縱向掃描，可以在光阻層上實現任意的紫外光圖案。

2019年德國漢諾威工業展，4月1日至5日於德國漢諾威市舉行。成大產學聯盟偕同成大技術團隊參展，將成大研究成果以及產業應用技術推向國際。成大國際產學聯盟，串聯成大9個學院及80多所研究中心研發能量，為企業會員量身打造最適合的產學合作，讓成大作為產業發展的堅強後盾。