▲應用材料推出以大數據和人工智慧為基礎的製程控制新攻略。（圖／應用材料提供）


記者羅蔚舟／竹科報導

半導體技術日趨複雜且所費不貲，而全球晶片製造商想要縮短研發及提升良率所需的時間，換算下來相當於數十億美元；。成功與否取決於缺陷控管以及良率提升的能力，在縮小線寬的同時，良率的提升也更挑戰。應用材料公司宣布推出製程控制方面的重大創新，運用大數據與人工智慧技術，協助半導體製造商加速研發時程、更快創造營收，同時獲取更多利潤。

應用材料公司將使用新型製程控制措施解決上述挑戰，引領大數據與人工智慧的技術帶入晶片製造技術的核心。應材的解決方案比傳統方法更快更好，也更有效地找出缺陷並加以分類。這三個關鍵重點：全新 Enlight® 光學晶圓檢測系統、新型 ExtractAI™ 技術、SEMVision® 電子束複檢系統。


▲應用材料推出以大數據和人工智慧為基礎的製程控制新攻略。（圖／應用材料提供）

VLSIresearch 董事長暨執行長 Dan Hutcheson 表示：「能夠快速精準地從雜訊中挑出不利於良率的缺陷，是晶圓廠工程師 30 餘年來一直在努力解決的問題。應用材料公司的 Enlight 系統搭配 ExtractAI 技術，是一項解決這個問題的突破性作法，加上該系統使用的人工智慧技術會愈來愈聰明，長期下來就能協助晶片製造商提高每片晶圓創造的收入。」

應用材料公司影像與製程控制集團副總裁暨總經理基思．威爾斯(Keith Wells )表示：「應材製程控制的新攻略結合大數據與人工智慧，提供一個兼具智慧與適應能力的解決方案，加快客戶實現最高良率的腳步。結合我們同級最佳的光學檢測與電子束檢視技術，創造出業界唯一具有智慧的解決方案，不僅有能力偵測良率關鍵缺陷並進行分類，還能即時學習和適應製程變更。這項獨特能力使得晶片製造商能夠更快提升新的製程節點，在製程生命週期內維持良好的良率關鍵缺陷捕捉率。」

採用 ExtractAI 技術的全新 Enlight 系統，是應材史上最快速量產的檢測系統，目前全球所有頂尖的晶圓代工邏輯客戶均已採用這套系統。SEMVision 系統 20 多年來始終是業界領先的電子束檢視系統，全球客戶晶圓廠的安裝數量超過 1,500 套系統。